一种用于钛及钛合金的化学蚀刻溶液配方及工艺

化学蚀刻是通过化学反应利用化学溶液的腐蚀作用将不需要的金属快速溶解除掉的过程。化学蚀刻的基本流程是：将初始金属件进行常规的清洗和除油使表面清洁，进而在其表面涂覆光刻胶，并按照加工图样进行光刻胶的曝光，而后进行显影和坚膜处理，再利用化学蚀刻溶液腐蚀暴露的金属，待腐蚀过程结束后，再将表面的胶用强碱性溶液去掉，最后用水清洗干净得到蚀刻加工工件产品。目前已有的化学蚀刻溶液主要是针对不锈钢、铜、镍等金属微细加工的化学蚀刻溶液，而对于钛及钛合金的化学蚀刻溶液尚未见报道。近来钛及钛合金的使用越来越为广泛，涉及微细加工的要求也逐渐增多，为此用于钛及钛合金的化学蚀刻溶液的需求也日益紧迫。

华炬科技新产品研究所技术咨询委员会科研人员现推荐一项一种用于钛及钛合金的化学蚀刻溶液配方及工艺，该技术的蚀刻溶液可在常温下使用，具有腐蚀速度快，侧蚀小，溶液使用寿命长和加工成本低等优点，即使在静止溶液中也可实现钛及钛合金的快速蚀刻，本蚀刻溶液可以广泛应用于电子工业、光学仪表工业、石化工业、制药设备工业、核工业、半导体加工业和燃料电池等的重要元器件和结构件的化学蚀刻加工过程中现将该一种用于钛及钛合金的化学蚀刻溶液配方及工艺及技术方案及实施例介绍如下供研究交流参考：（611511  363621）